在短距離蒸餾裝置的真空度控制中，初期的控制方式采用開環控制方式。 該控制方法存在較大的波動現象，分離物質的純度需求持續增加，但該真空度控制方法由于穩定性能差，難以達到較高的純度需求。 為了解決這個問題，使真空度穩定在一定值，可以使用氣體流量控制器進行反饋控制，通過調節吸氣量和排氣量來穩定真空度。

　　基于分子蒸餾的真空度控制采用閉環控制，液環式真空泵和旋轉式真空泵需要將真空度維持在負壓，但通過串聯連接氣體流量控制裝置，充分利用氣體流量控制裝置維持分子蒸餾器的真空度，實現了穩定的效果。

　　短距離蒸餾設備用數字真空計代替上端的真空計，將收集到的數據直接送到總閥，將真空泵控制在規定的真空度。 真空泵由液環式真空泵和旋轉式真空泵組成，冷卻水流量的穩定性影響真空泵的運行，導致真空泵穩定性差，波動劇烈。 例如在小型蒸餾設備中，蒸發器的直徑小，受真空度變動的影響很大。 此時，蒸發器內的真空度達到規定值的規定范圍后，打開氣體質量流量控制器，使其不斷排氣或送氣，根據規定值與真空計的實際誤差，控制誤差，以實現真空度的穩定化。